【团体标准】光刻用AT切石英晶片

本网站发布时间： 2025-04-23

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了光刻用AT切石英晶片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标识、运输、储存。本文件适用于光刻用AT切石英晶片。

起草人：
院中杰、张营、朱中晓、张立强、郑玉南、刘峰、李宗杰、叶竹之、李辉、王斌、李庆跃、张绍锋、张璇、高艺箐、刘其胜、尚虎、毛晶、张翔、汪鑫、刘盛浦、朱永安、廖巧云、叶国萍、郭正江、石胜雄、刘青彦、杨清明、高志祥、马怀昌
起草单位：
北京石晶光电科技股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、广东惠伦晶体科技股份有限公司、成都泰美克晶体技术有限公司、泰晶科技股份有限公司、东晶电子金华有限公司、烁光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶体科技有限公司、三生电子（天津）有限公司、武汉海创电子股份有限公司、安徽晶赛科技股份有限公司、山东博达光电有限公司、研创科技（惠州）有限公司、汇隆电子（金华）有限公司、鸿星科技（集团）股份有限公司、成都晶宝时频技术股份有限公司、南京中电熊猫晶体科技有限公司、上海锐星微电子科技有限公司
归口单位：
中国电子元件行业协会
提出部门：
中国电子元件行业协会
发布部门：
中国电子元件行业协会

【团体标准】 光刻用AT切石英晶片