【团体标准】电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

本网站发布时间： 2023-11-06

T/CNIA 0120-2021
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用高纯硝酸中杂质元素含量（铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、铜、铁、铅、锂、镁、锰、镍、钾、钠、锡、钛、钒、锌）的方法。本文件适用于电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.001μg/kg～10.000μg/kg。标准工作曲线法适用于杂质元素含量＞0.100μg/kg～10.000μg/kg；标准加入法适用于杂质元素含量≤0.100μg/kg～0.001μg/kg。

基本信息

标准号：
T/CNIA 0120-2021
标准名称：
电子工业用高纯硝酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
英文名称：
标准状态：
现行
发布日期：
2021-03-19
实施日期：
2021-09-01
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
秦榕、申梅桂、王晓燕、李明珍、陶艺莹、刘凤华、张啸虎、赵倩倩、陈英、鲁文锋
起草单位：
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司
归口单位：
中国有色金属工业协会
提出部门：
中国有色金属工业协会
发布部门：
中国有色金属工业协会

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