【团体标准】工业MEMS测试平台建设规范

本网站发布时间： 2025-03-20

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标准简介

本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容。本文件适用于工业类MEMS器件的基础性测试、验收工作。

起草人：
方续东、李维、李维平、李宗伟、赵继聪、陈振、罗定稳、吴岱璇、张仲恺、兰之康、熊兴崟、孙海燕、王河清、陈天平、李方浩、任雪雯、姜一平、邓杨、张诚、陈志文、舒朝玺、唐朝阳、李俊、常洪龙、严宇超、余建宏、吴涛、崔艳
起草单位：
西安交通大学、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、南京高华科技股份有限公司、中国科学院地质与地球物理研究所、南通大学、广电计量检测集团股份有限公司、保定开拓精密仪器制造有限责任公司、中国计量大学、深圳市正宇兴电子有限公司、武汉大学、江苏联康信息股份有限公司、西北工业大学宁波研究院、余姚市永创电磁阀有限公司、上海科技大学
归口单位：
中关村智能科技发展促进会
提出部门：
中关村智能科技发展促进会
发布部门：
中关村智能科技发展促进会

【团体标准】 工业MEMS测试平台建设规范