标准详细信息 去购物车结算

【团体标准】 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

本网站 发布时间: 2023-11-06
  • T/CASAS 032-2023
  • 现行
  • 定价: 无文本 / 折扣价: 0
  • 在线阅读
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!   查看详情>>
标准简介标准简介

适用范围:

暂无

基本信息

  • 标准号:

    T/CASAS 032-2023

  • 标准名称:

    碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

  • 英文名称:

    Test method for the content of metal elements on the surface of silicon carbide wafer—Inductively coupled plasma mass spectrometry
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2023-06-19
  • 实施日期:

    2023-06-19
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    31-030
  • 中标分类号:

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    崔潆心、陈秀芳、谢雪健、杨祥龙、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏
  • 起草单位:

  • 归口单位:

  • 提出部门:

  • 发布部门: