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【团体标准】 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层

本网站 发布时间： 2024-06-26
  • T/CASME 1520-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层。

基本信息

  • 标准号：

    T/CASME 1520-2024

  • 标准名称：

    半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层

  • 英文名称：

    Semiconductor manufacturing protective coating on the surface of vacuum cavity parts

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-06-04

  • 实施日期：

    2024-06-20

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    25.220.20

  • 中标分类号：

    A29

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰

  • 起草单位：

    安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司

  • 归口单位：

    中国中小商业企业协会

  • 提出部门：

    中国中小商业企业协会

  • 发布部门：

    中国中小商业企业协会
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