【团体标准】高纯气体产品采样通则

本网站发布时间： 2023-11-06

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标准简介

本文件规定了与高纯气体分析相关的采样基本原则，采样方案，采样类型，采样系统设计与安全。本文件适用于压力容器或在线管道中的压缩或液化高纯气体，以及部分高纯混合气体的采样。

起草人：
李东升、周庆美、蒋玉琳，王春英、周晓咪，王磊、李俊杰，孙建，施旖旎、张蓉，傅铸红、陈艳珊，张长金、纪振红，张广第、张雪刚，朱智敏、赵晓亚
起草单位：
上海正帆科技股份有限公司、唐山三孚硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司
归口单位：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
提出部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟

【团体标准】 高纯气体产品采样通则