- 您的位置:
- 中国标准在线服务网 >>
- 全部标准分类 >>
- 团体标准 >>
- GDID >>
- T/GDID 1099-2024 管式等离子体淀积炉安装规范
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!  
查看详情>>
标准简介
适用范围:
本文件规定了管式等离子体淀积炉安装的术语和定义、基本要求、设备定位、安装石英管、安装炉口法兰和炉门、炉盖、安装炉尾法兰和炉门、安装石墨舟承托架、安装K型铠装热电偶、安装推舟及桨组件、加装管、安装桨、安装真空泵及真空管道、安装电源线缆、信号线缆及感应器的要求。本文件适用于生产太阳能电池硅片的管式等离子体淀积炉的安装作业过程。
标准号:
T/GDID 1099-2024
标准名称:
管式等离子体淀积炉安装规范
英文名称:
Installation specification for tubular plasma deposition furnaces标准状态:
现行-
发布日期:
2024-02-23 -
实施日期:
2024-02-23 出版语种:
- 其它标准