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【团体标准】 集成电路和半导体行业纳米精度运动控制平台设计及技术要求

本网站 发布时间： 2026-04-16
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适用范围：

本文件规定了集成电路和半导体行业纳米精度运动控制平台的分类、设计、材料与结构要求、技术要求以及试验方法。 本文件适用于光刻、刻蚀、离子/电子束工艺、检测量测、键合/封装及其他具有纳米级定位精度需求的加工环节；在真空、高洁净度或其他特殊工艺环境下运行的多轴或单轴运动平台。其他领域（如精密光学、超精密加工等）参照本文件执行，但需根据具体需求进行适当调整。

基本信息

  • 标准号：

    T/CI 1158-2025

  • 标准名称：

    集成电路和半导体行业纳米精度运动控制平台设计及技术要求

  • 英文名称：

    Design and technical requirements for nanometer precision motion control platforms in integrated circuits and semiconductor industry

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-09-01

  • 实施日期：

    2025-09-01

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

    23 千字

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    陆泽琦、陈立群、张建华、胡棋誉、刘立民、徐云浪、孙煜、黄涛、王连爽、王津龙

  • 起草单位：

    上海大学、浙江零振智能装备有限公司、多场低温科技（北京）有限公司、中南大学、复旦大学、四川大学、北京创想迈为科技有限公司、赛米垦拓（北京）科技有限公司

  • 归口单位：

    中国国际科技促进会

  • 提出部门：

    中国国际科技促进会

  • 发布部门：

    中国国际科技促进会
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