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【团体标准】 高精度晶圆加工工艺标准及验收规范

本网站 发布时间： 2026-03-11
  • T/DGECA 045-2026
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了高精度集成电路晶圆加工的加工前准备、加工工艺、质量检测、成品验收以及包装、运输与存储等内容。本文件适用于晶圆加工车间的生产作业、质量检验部门的检测验收工作，同时作为公司向上下游合作方提供晶圆产品技术对接、质量确认的依据。

基本信息

  • 标准号：

    T/DGECA 045-2026

  • 标准名称：

    高精度晶圆加工工艺标准及验收规范

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2026-02-25

  • 实施日期：

    2026-02-28

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.080.01

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    黄水平、余夏冰、余美英

  • 起草单位：

    上海铂肯材料技术有限公司、上海央达商务咨询中心（有限合伙）、上海苗疆商务咨询中心（有限合伙）

  • 归口单位：

    东莞市电子商务协会

  • 提出部门：

    东莞市电子商务协会

  • 发布部门：

    东莞市电子商务协会
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