【团体标准】旋转硅靶材

本网站发布时间： 2023-11-06

T/NXCL 004-2021
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷、旋转硅靶晶型、搭接率、表面质量和衬管材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、外观质量、内部缺陷、晶体形态、晶粒大小、搭接率、圆度和同轴度的测量方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定。

基本信息

标准号：
T/NXCL 004-2021
标准名称：
旋转硅靶材
英文名称：
标准状态：
现行
发布日期：
2021-11-11
实施日期：
2021-11-11
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
29.045
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
起草单位：
北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
归口单位：
宁夏材料研究学会
提出部门：
宁夏材料研究学会
发布部门：
宁夏材料研究学会

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