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- T/CIET 1618-2025 电子大宗气站工程技术规范
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适用范围:
本文件规定了电子大宗气站的一般要求、气体输送系统、建筑结构、采暖通风与空调调节、给排水及消防、电气及仪表控制和工程验收。本文件适用于为电子生产制造企业提供大宗气体(氮气、氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳、压缩空气)的供气站的设计、施工、安装和验收。本文件不适用于:1.压缩空气系统的干燥、过滤和输送系统的设计、施工和验收。2.高纯氢气系统采用阀门箱(VDB、VMB)方式输送到工艺设备的系统的设计、施工和验收。3.纯化气体灌瓶外销系统的设计、施工和验收。4.普通气的制气站、供气站和汇流排间的设计、施工、安装和验收。
起草人:
邓韬、蒋瑱瑱、胡蓉、何经余、肖东雷、潘振环、刘帅、殷梓卿、江堃、董晓阳、许凯、张鹏辉、吴禹强、方希、李伟、杨汝东、舒移平、高涛、刘岩、吴永利、汪贤峰、贾国蕊、徐敬铭、包瑾、鲍薇起草单位:
广州广钢气体能源股份有限公司、金宏气体股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、上海韩科科技股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、杭氧集团股份有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、长鑫科技集团股份有限公司、通标中研标准化技术研究院(北京)有限公司、途邦认证有限公司归口单位:
中国国际经济技术合作促进会提出部门:
中国国际经济技术合作促进会发布部门:
中国国际经济技术合作促进会
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