【团体标准】微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第4部分：元器件选型及测试

本网站发布时间： 2025-10-24

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标准简介

本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。

标准号：
T/CSCP 0059.4-2025
标准名称：
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第4部分：元器件选型及测试
英文名称：
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 4: Component selecting and testing
标准状态：
现行
发布日期：
2025-09-01
实施日期：
2025-10-01
出版语种：

起草人：
杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、韩钰、马宏驰
起草单位：
北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
归口单位：
中国腐蚀与防护学会
提出部门：
中国腐蚀与防护学会
发布部门：
中国腐蚀与防护学会

【团体标准】 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第4部分：元器件选型及测试