【团体标准】微纳加工离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法

本网站发布时间： 2023-11-06

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。

标准号：
T/BSPT 002-2018
标准名称：
微纳加工离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
英文名称：
Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation
标准状态：
现行
发布日期：
2018-06-20
实施日期：
2018-07-01
出版语种：

【团体标准】 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法