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【团体标准】 半导体设备用低温泵评价规范

本网站 发布时间： 2024-08-03
  • T/GVS 014-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。

基本信息

  • 标准号：

    T/GVS 014-2024

  • 标准名称：

    半导体设备用低温泵评价规范

  • 英文名称：

    Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-08-02

  • 实施日期：

    2024-08-02

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    23.160

  • 中标分类号：

    J78

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏

  • 起草单位：

    中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司

  • 归口单位：

    广东省真空学会

  • 提出部门：

    广东省真空学会

  • 发布部门：

    广东省真空学会
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