【团体标准】集成电路用电子特种气体产品通用规范

本网站发布时间： 2023-11-06

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标准简介

本文件规定了集成电路用特种气体产品的分类、检验规则、标志、包装、运输及贮存的通用要求。本文件适用于各种集成电路用特种气体产品。如有特殊要求，应在具体产品标准中予以明确。

起草人：
王大方、雷海平、万烨、曹素英、赖金香、陈刚、赵铁、郑秋艳、纪振红、孙建、傅铸红、叶相平、施旖旎、蒋飚、祝飘、叶骏超、汤萍、孙猛、龚施健、李东升、徐昕、俞冬雷、侯鹏、钱吉、谈益强、高天龙
起草单位：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟、欧中电子材料（重庆）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、福建德尔科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、博纯材料股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、浙江陶特容器科技股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司
归口单位：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
提出部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟

【团体标准】 集成电路用电子特种气体产品通用规范