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【团体标准】 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则

本网站 发布时间： 2024-01-31
  • T/WHAS 062-2023
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用。

基本信息

  • 标准号：

    T/WHAS 062-2023

  • 标准名称：

    用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则

  • 英文名称：

    Design Guidelines for Optical Proximity Correction Software for Integrated Circuits

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2023-12-26

  • 实施日期：

    2024-01-10

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    35.080

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通

  • 起草单位：

    武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司

  • 归口单位：

    武汉标准化协会

  • 提出部门：

    武汉标准化协会

  • 发布部门：

    武汉标准化协会
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