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【团体标准】 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

本网站 发布时间： 2024-10-23
  • T/CCGA 90004-2023
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。

基本信息

  • 标准号：

    T/CCGA 90004-2023

  • 标准名称：

    泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

  • 英文名称：

    Protocol for measuring destruction or removal efficiency (DRE) of point-of-use abatement equipment in pan-semiconductor

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2023-12-18

  • 实施日期：

    2024-01-18

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    13.020.40

  • 中标分类号：

    E25

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉

  • 起草单位：

    埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会

  • 归口单位：

    中国工业气体工业协会

  • 提出部门：

    中国工业气体工业协会

  • 发布部门：

    中国工业气体工业协会
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