【团体标准】晶圆级电性参数测试数据格式

本网站发布时间： 2025-04-23

T/EDASQUARE 005-2023
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体集成电路制造中的参数电性测试数据文件，并且对文件中的数据格式、数据框架结构、数据类型、数据项设置做了定义，适用于制造类电子自动化设计软件中所涉及的参数电性测试数据。主要内容包括：数据文件的语法，框架结构，数据文件格式包括数据开头、版本信息、数据类型、应用类型、用户信息、产品信息、产品批次信息、测试环境信息、模型信息、工作模式信息、设备信息、探测信息、位置信息、结构几何信息、测试信息、参数信息、安全信息、完整性校验信息、测试数据内容、单测试项的统计信息、整体测试总统计信息，应用需求，数据文件的形式等内容。

基本信息

标准号：
T/EDASQUARE 005-2023
标准名称：
晶圆级电性参数测试数据格式
英文名称：
Wafer Level Electrical Parametric Test Data Format Standard
标准状态：
现行
发布日期：
2023-09-10
实施日期：
2023-09-10
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
31.200
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
陈岚，陈弼梅，李淼，王博，沈忱，张锋，周永星，赵永林，菅端端，曹宇，肖韩，邵康鹏，章英杰，姚林，王亚丽，孟晓东，刘云举，陆梅君，王自强，石凯，张薇，刘舒宁，靳小利，董哲，孙忠，薛景星，温松辑，刘晓明，彭涛，曹荣根，陈容
起草单位：
中国科学院微电子研究所，杭州广立微电子股份有限公司，概伦电子股份有限公司，深圳海思半导体有限公司，墨研计算科学(南京)有限公司，中芯北方集成电路制造（北京）有限公司，北京华大九天科技股份有限公司，全芯智造技术有限公司，中国电子工业标准化技术协会，鸿之微科技(上海)股份有限公司，北京大学信息技术高等研究院
归口单位：
上海电子设计自动化发展促进会
提出部门：
上海电子设计自动化发展促进会
发布部门：
上海电子设计自动化发展促进会

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