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【团体标准】 等离子刻蚀机用硅环

本网站 发布时间： 2025-12-20
  • T/ZZB 3882-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了硅环的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件、订货单内容和质量承诺。本文件适用于等离子刻蚀机用的p<100>直拉硅单晶加工成的直径200mm～450mm硅环。

基本信息

  • 标准号：

    T/ZZB 3882-2024

  • 标准名称：

    等离子刻蚀机用硅环

  • 英文名称：

    Silicon ring for plasma etching machine

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-12-02

  • 实施日期：

    2025-01-02

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H82

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    李长苏、祝建敏、刘志彪、郑小松、郭立华、密思、曾西、范明明、龚益文、祝军、周波、陈东、李熊、丁纺纺、刘永南、王少凡、曹锐、黄鹏

  • 起草单位：

    浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

  • 归口单位：

    浙江省质量协会

  • 提出部门：

    浙江省质量协会

  • 发布部门：

    浙江省质量协会
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