【地方标准】集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

本网站发布时间： 2021-03-22

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标准简介

本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。

标准号：
DB31/ 506-2020
标准名称：
集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称：
The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
标准状态：
现行
发布日期：
2020-09-25
实施日期：
2020-12-01
出版语种：
中文简体

起草人：
陶金龙闵钢秦宏波石建宾杨晓春张大炜范晶姚弘珏翟静陈勇陈继红
起草单位：
上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司
归口单位：
上海市能源标准化技术委员会
提出部门：
上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会
发布部门：
上海市市场监督管理局

【地方标准】 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额