【团体标准】电子工业用气体氟氮混合气

本网站发布时间： 2024-06-12

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标准简介

本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气。

起草人：
刘春花、阎晓冬、刘欣、丁勇、吴俊、徐清钢、郭秋雨、周锋、赵斌、张蒙、肖旺钏、付铁柱、毛玲玲、汤萍、应韵进、王新喜、潘华杰、李安林、彭雪丽
起草单位：
福建永晶科技股份有限公司、洛阳森蓝化工材料科技有限公司、四川红华实业有限公司、山东华夏神舟新材料有限公司、岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、三明学院、浙江博瑞中硝科技有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、上海云必科技有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司、天津环材标准化服务有限公司
归口单位：
中国石油和化学工业联合会
提出部门：
中国石油和化学工业联合会
发布部门：
中国石油和化学工业联合会

【团体标准】 电子工业用气体氟氮混合气