【团体标准】异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法

本网站发布时间： 2026-04-16

T/CSA 102-2025
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了使用白光干涉法测试异质外延单一结构的氮化镓外延层厚度的原理、试验条件、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度，以及试验报告。本文件适用于异质外延氮化镓外延层厚度（范围为11 μm至43 μm）的测试。AlN、InN、AlGaN和InGaN在异质外延上的单一结构膜层厚度的测试也可参照本文件执行。

基本信息

标准号：
T/CSA 102-2025
标准名称：
异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法
英文名称：
标准状态：
现行
发布日期：
2025-10-30
实施日期：
2025-10-30
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
31.080.99
中标分类号：
H83

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
15 千字
开本：

其他信息

起草人：
刘强、吴载炎、丁晓民、庄文荣、李本亮、顾慧慧、颜建锋、康香宁、刘志彬、苏旭军、修向前、朱广敏、孙昕、肖飞晨
起草单位：
北京大学东莞光电研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、广东省东莞市质量监督监测中心、深圳民爆光电股份有限公司、北京大学、中国科学院半导体研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、南京大学、京东方华灿光电（浙江）有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室（宽禁带半导体超越照明材料与技术全国重点实验室）、普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
归口单位：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
提出部门：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
发布部门：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟

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