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【团体标准】 集成电路用高纯钛溅射靶材

本网站 发布时间： 2023-11-06
  • T/ZZB 0093-2016
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    T/ZZB 0093-2016

  • 标准名称：

    集成电路用高纯钛溅射靶材

  • 英文名称：

    High-purity sputtering titanium target used in integrated circuit

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2016-09-10

  • 实施日期：

    2023-10-10

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.150.50

  • 中标分类号：

    H64

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

  • 起草单位：

  • 归口单位：

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  • 发布部门：

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