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【计量规程规范】 扫描探针显微镜校准规范

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适用范围：

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

读者对象：

扫描探针显微镜校准等相关人员

基本信息

  • 标准号：

    JJF 1351-2012

  • 标准名称：

    扫描探针显微镜校准规范

  • 英文名称：

    Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2012-06-18

  • 实施日期：

    2012-09-18

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    25 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁

  • 起草单位：

    中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院

  • 归口单位：

    全国几何量长度计量技术委员会

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    国家质量监督检验检疫总局
  • 其它标准
  • 推荐标准

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