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【团体标准】 半导体工艺用氟化液-全氟聚醚和氢氟醚

本网站 发布时间： 2025-04-30
  • T/CIET 1127-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体工艺用氟化液的基本要求，包括选型指导、测试验证、使用、维护等内容。本文件适用于半导体FAB厂，设备商和相关材料生产商参考。

基本信息

  • 标准号：

    T/CIET 1127-2025

  • 标准名称：

    半导体工艺用氟化液-全氟聚醚和氢氟醚

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-03-26

  • 实施日期：

    2025-03-26

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31-030

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    姜希松、于浩、李菊清、邓清田、王斌辉、贾鑫源、周亮、张苗苗、鄢艳华、芮守祯、何毅峰、何茂栋、郑冬君、曹小康、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王长涛、徐敬铭、包瑾、孙晓楠

  • 起草单位：

    深圳新宙邦科技股份有限公司、北京京仪自动化装备技术股份有限公司、浙江诺亚氟化工有限公司、成都晨光博达新材料股份有限公司、浙江永和制冷股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司

  • 归口单位：

    中国国际经济技术合作促进会

  • 提出部门：

    中国国际经济技术合作促进会

  • 发布部门：

    中国国际经济技术合作促进会
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