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【团体标准】微纳米压印光刻技术规范

本网站发布时间： 2025-12-12

T/GISIA 004-2025
现行
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标准简介

标准简介

适用范围：

本文件适用于采用热压印、紫外压印、混合压印等方式制备微纳米结构的科研、生产和工程应用。

基本信息

标准号：
T/GISIA 004-2025
标准名称：
微纳米压印光刻技术规范
英文名称：
Technical Specification for Nanoimprint Lithography
标准状态：
现行
发布日期：
2025-11-30
实施日期：
2025-12-01
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
31-030
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
丁海琴、李宁、姜银方、秦同春、居法银、崔玲玲、李志伟、张捷、唐少春、贾国栋、吉光、邵彪、陈奕璇、石健、顾晓敏、解复冬、鲍玉萍、江飞飞
起草单位：
南通理工学院、江苏优众微纳半导体科技有限公司、海安南京大学高新技术研究院、南通市产品质量监督检验所、南通大学
归口单位：
中关村国联绿色产业服务创新联盟
提出部门：
中关村国联绿色产业服务创新联盟
发布部门：
中关村国联绿色产业服务创新联盟

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