【团体标准】无纺布/聚氨酯复合抛光垫

本网站发布时间： 2023-11-06

T/SHXCL 0004-2021
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。

基本信息

标准号：
T/SHXCL 0004-2021
标准名称：
无纺布/聚氨酯复合抛光垫
英文名称：
Nonwovens/polyurethane composite polishing pad
标准状态：
现行
发布日期：
2021-04-12
实施日期：
2021-05-30
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
59.100.99
中标分类号：
G23

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
张泽芳等
起草单位：
上海映智研磨材料有限公司等
归口单位：
上海市新材料协会
提出部门：
上海市新材料协会
发布部门：
上海市新材料协会

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