【团体标准】泛半导体行业真空泵技术要求

本网站发布时间： 2024-03-14

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标准简介

本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验。

起草人：
雷晓宏、王普学、魏民、雷晓波、汪鹏、王进福、陈雷、丁印明、姜斌、刘朋飞、孟永见、王洪帅、王鑫、张建平、张兰涛、张新房、郑华、陈丰、冯伟、彭冲、苏海军、由凯生
起草单位：
北京通嘉宏瑞科技有限公司、陕西通嘉宏盛科技有限公司、上海通嘉宏盛半导体设备有限公司
归口单位：
全国城市工业品贸易中心联合会
提出部门：
全国城市工业品贸易中心联合会
发布部门：
全国城市工业品贸易中心联合会

【团体标准】 泛半导体行业真空泵技术要求