【团体标准】钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

本网站发布时间： 2023-11-06

T/SICA 001-2020
现行
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标准简介

适用范围：

本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为，硫酸（H2SO4）≥60W/%；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/%；铁（Fe）≤0.002W/%；透明度≥100/mm；色度，深于标准色度；灰分≤0.01W/%；砷（As）≤0.001W/%；铅（Pb）≤0.02W/%。

基本信息

标准号：
T/SICA 001-2020
标准名称：
钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
英文名称：
Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry
标准状态：
现行
发布日期：
2020-04-29
实施日期：
2020-06-01
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
13.030.99
中标分类号：
Z00

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
起草单位：
上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
归口单位：
上海市集成电路行业协会
提出部门：
上海市集成电路行业协会
发布部门：
上海市集成电路行业协会

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