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【团体标准】 离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法

本网站 发布时间： 2026-04-04
  • T/TMAC 335-2026
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件适用于离子注入设备中使用的静电卡盘在环境兼容性及长期可靠性评估。

基本信息

  • 标准号：

    T/TMAC 335-2026

  • 标准名称：

    离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2026-01-30

  • 实施日期：

    2026-01-30

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.080.99

  • 中标分类号：

    L10

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    刘瑞强、陈闻杰、夏裕、胡卫国、罗中平、王成杰、李士会、陈关亮

  • 起草单位：

    北京烁科中科信电子装备有限公司、广东精瓷新材料有限公司、深圳市华芯半导体装备技术有限公司、娄底市鑫伟达金属材料有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州合志杰新材料技术有限公司

  • 归口单位：

    中国技术市场协会

  • 提出部门：

    中国技术市场协会

  • 发布部门：

    中国技术市场协会
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