【团体标准】半导体行业废稀释剂回收再利用技术规范

本网站发布时间： 2025-05-22

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本标准针对半导体制造过程中产生的废稀释剂（如光刻胶稀释剂、显影液稀释剂等）的回收再利用，规定了总体要求、回收工艺、质量控制以及安全环保要求，旨在指导企业规范回收操作，提升资源利用率，保障生产安全，降低环境影响，进一步推动半导体行业的可持续发展。

标准号：
T/UNP 607-2025
标准名称：
半导体行业废稀释剂回收再利用技术规范
英文名称：
Technical specification for recycling and reuse of waste thinner in semiconductor industry
标准状态：
现行
发布日期：
2025-04-23
实施日期：
2025-04-23
出版语种：

【团体标准】 半导体行业废稀释剂回收再利用技术规范