【团体标准】半导体热处理硅舟技术规范

本网站发布时间： 2025-12-04

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标准简介

本文件适用于扩散、退火、氧化等高温工艺中使用的石墨、碳化硅及石墨基涂层硅舟。其他用于高温承载用途的治具可参照执行，本文件亦可供制造单位、使用单位及检验机构参考使用。

标准号：
T/CQPRA 0025-2025
标准名称：
半导体热处理硅舟技术规范
英文名称：
Technical Specification for Silicon Boats Used in Semiconductor Thermal Processing
标准状态：
现行
发布日期：
2025-12-02
实施日期：
2025-12-02
出版语种：

起草人：
祝超、汤知源、邵文杰、刘琳笑、周斌、叶慧、徐璐玲、刘晓政、祝嘉豪、祝建敏、傅文涛、吕斌、徐匡荣、罗申、卢正
起草单位：
江山市检验检测研究院、浙江省质量科学研究院、常山县检验检测研究院、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、衢州市计量质量检验研究院、浙江夏王纸业有限公司、厦门市华夏国鉴教育研究院
归口单位：
重庆市国际国内公共关系协会
提出部门：
重庆市国际国内公共关系协会
发布部门：
重庆市国际国内公共关系协会

【团体标准】 半导体热处理硅舟技术规范