【团体标准】半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

本网站发布时间： 2023-11-06

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标准简介

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。

标准号：
T/ZZB 2283-2021
标准名称：
半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
英文名称：
Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal
标准状态：
现行
发布日期：
2021-08-26
实施日期：
2021-09-26
出版语种：

【团体标准】 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉