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【国外标准】 X-선 반사율(XRR) 측정법을 이용한 박막의 두께, 밀도, 계면 너비 평가 — 장치 요건, 정렬 및 위치결정, 데이터 수집, 데이터 분석, 보고

本网站 发布时间： 2024-04-10
  • KS D ISO 16413
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    KS D ISO 16413

  • 标准名称：

    X-선 반사율(XRR) 측정법을 이용한 박막의 두께, 밀도, 계면 너비 평가 — 장치 요건, 정렬 및 위치결정, 데이터 수집, 데이터 분석, 보고

  • 英文名称：

    Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2021-07-16

  • 实施日期：

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    35.240.70,71.040.40

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    36 页

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

  • 起草单位：

  • 归口单位：

  • 提出部门：

  • 发布部门：

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  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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