【团体标准】高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求

本网站发布时间： 2026-04-15

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了高功率脉冲磁控溅射PVD设备的设备组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。本文件适用于峰值功率密度不小于500W/cm2的脉冲磁控溅射PVD设备。

起草人：
胡中军、王俊锋、田修波、张心凤、周海龙、胡恒宁、谭卓鹏、殷磊、杜昊、姜金龙、魏智博、耿慧远、陈亚奋、林炯康、朱昆、莫科伟、曹志强、周敏、夏正卫、郑博鸿、施杰、唐德礼、邱联昌、唐正强、邵明昊、郭朝乾、王树晓、李彬、伍志军、马昊鹏、刘谋苗、赵小安、李瑞、陈虹蓉
起草单位：
北京北方华创真空技术有限公司、广东鼎泰机器人科技有限公司、新铂科技（东莞）有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、安徽越好电子装备有限公司、成都工具研究所有限公司、上海源创同章表面涂层科技有限公司、赣州澳克泰工具技术有限公司、贵州大学、烟台先进材料与绿色制造山东省实验室、苏州精新汇能电源科技有限公司、哈尔滨工业大学、广东华升纳米科技股份有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、广东省新兴激光等离子体技术研究院、吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司
归口单位：
中国国际科技促进会
提出部门：
中国国际科技促进会
发布部门：
中国国际科技促进会

【团体标准】 高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求