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【行业标准】 制备钌靶用钌粉

本网站 发布时间： 2016-02-04
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适用范围：

本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。

基本信息

  • 标准号：

    YS/T 1068-2015

  • 标准名称：

    制备钌靶用钌粉

  • 英文名称：

    Ruthenium powder for ruthenium sputttering target

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2015-04-30

  • 实施日期：

    2015-10-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.150.99

  • 中标分类号：

    H68

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    10 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋

  • 起草单位：

    贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 发布部门：

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 其它标准
  • 推荐标准

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