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【团体标准】 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

本网站 发布时间： 2025-04-23
  • T/ZSA 231-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。

基本信息

  • 标准号：

    T/ZSA 231-2024

  • 标准名称：

    氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

  • 英文名称：

    Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-05-15

  • 实施日期：

    2024-05-16

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋

  • 起草单位：

    中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司

  • 归口单位：

    中关村标准化协会

  • 提出部门：

    中关村标准化协会

  • 发布部门：

    中关村标准化协会
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