【团体标准】异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

本网站发布时间： 2024-04-16

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标准简介

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。

起草人：
王赶强王慧慧庄天奇马哲国卢俊雄吴易龙江伟朱海剑张洪旺周光大朱晨刘松民周春华谈剑豪
起草单位：
中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司
归口单位：
中国光伏行业协会
提出部门：
中国光伏行业协会
发布部门：
中国光伏行业协会

【团体标准】 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备