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【地方标准】 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

本网站 发布时间: 2023-03-07
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适用范围:

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定,方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104 Ω。

基本信息

  • 标准号:

    DB32/T 4378-2022

  • 标准名称:

    衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

  • 英文名称:

    Nano, sub-micron scale film on substrate—Non-destructive test method of sheet resistance—Four probe method
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2022-10-23
  • 实施日期:

    2022-11-23
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    65.020.40
  • 中标分类号:

    B61

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    12 页
  • 字数:

    18 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    杨永强 丁海龙 区炳显 谢一麟 陈武魁 刘禹 魏宁 呼志跃 王云超 王勤生 马龙 李璐 屈晓兰 陈辉 秦继恩
  • 起草单位:

    江苏省特种设备安全监督检验研究院[国家石墨烯产品质量检验检测中心(江苏)]、苏州晶格电子有限公司、河南煜和科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司
  • 归口单位:

    江苏省石墨烯检测标准化技术委员会
  • 提出部门:

    江苏省石墨烯检测标准化技术委员会
  • 发布部门:

    江苏省市场监督管理局
  • 推荐标准
  • 国家标准计划