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【团体标准】 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

本网站 发布时间： 2022-01-04
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适用范围：

本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。

基本信息

  • 标准号：

    T/CEMIA 024-2021

  • 标准名称：

    半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

  • 英文名称：

    Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2021-07-15

  • 实施日期：

    2021-12-25

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    L90

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    20 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐

  • 起草单位：

    锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司

  • 归口单位：

    中国电子材料行业协会

  • 提出部门：

    中国电子材料行业协会

  • 发布部门：

    中国电子材料行业协会
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  • 推荐标准

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