【国家标准】微机电系统(MEMS)技术　微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

本网站发布时间： 2023-07-03

GB/T 42158-2023
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

基本信息

标准号：
GB/T 42158-2023
标准名称：
微机电系统(MEMS)技术　微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
英文名称：
Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
标准状态：
现行
发布日期：
2023-03-17
实施日期：
2023-07-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
31.080.99
中标分类号：
L59

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《半导体器件　微机电器件　第26部分:微沟槽和针结构的描述和测量方法》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
28 页
字数：
48 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
张硕顾枫李根梓沈俊杰俞骁周再发王敏锐贾建国许百宏许克宇王志远刘志广
起草单位：
苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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