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T/CEPEA 0102-2024 真空晶圆搬运机械手技术规范 现行 发布日期 :  2025-12-19 实施日期 :  2026-01-01

本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100mm~300mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求(外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性)、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标。

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T/CEPEA 0101-2024 电子专用设备用13.56MHz射频电源通用技术规范 现行 发布日期 :  2025-12-19 实施日期 :  2026-01-01

安全要求:规定电气安全、电磁兼容性、防护等级等方面的具体指标。性能要求:设定频率范围、输出功率、负载适应性、稳定性和效率等关键参数。环境适应性:明确工作温度、湿度、振动和冲击等环境条件下的性能要求。测试方法:提供详细的测试项目、步骤,并根据技术要求的标准判断产品是否满足要求,确保测试结果的准确性和可比性。

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T/CEPEA 0103-2024 半导体集成电路制造用原子层沉积设备 现行 发布日期 :  2025-12-19 实施日期 :  2026-01-01

主要技术内容:本标准明确了半导体集成电路制造用原子层沉积设备的适用范围、术语定义及主要组成部分,规定了其关键技术要求、测试方法及检验标准等内容,旨在推动行业技术水平提升,增强设备兼容性与标准化程度,并配套标识、包装、运输、存储等实施指导,为设备研发、生产制造、性能评价及采购验收等环节提供统一技术依据。

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