【团体标准】真空晶圆搬运机械手技术规范

本网站发布时间： 2025-12-20

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标准简介

本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100mm～300mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求（外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性）、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标。

起草人：
林坚、王彭、吴军、郭东、黎微明、徐玉鹏、李志强、衣忠波、钟磊、苏云姗
起草单位：
泓浒（苏州）半导体科技有限公司、电子科技大学、北京中电科电子装备有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司、甬矽电子（宁波）股份有限公司、珠海恒格微电子装备有限公司
归口单位：
中国电子专用设备工业协会
提出部门：
中国电子专用设备工业协会
发布部门：
中国电子专用设备工业协会

【团体标准】 真空晶圆搬运机械手技术规范