本文件规定了电子大宗气站的一般要求、气体输送系统、建筑结构、采暖通风与空调调节、给排水及消防、电气及仪表控制和工程验收。本文件适用于为电子生产制造企业提供大宗气体(氮气、氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳、压缩空气)的供气站的设计、施工、安装和验收。本文件不适用于:1.压缩空气系统的干燥、过滤和输送系统的设计、施工和验收。2.高纯氢气系统采用阀门箱(VDB、VMB)方式输送到工艺设备的系统的设计、施工和验收。3.纯化气体灌瓶外销系统的设计、施工和验收。4.普通气的制气站、供气站和汇流排间的设计、施工、安装和验收。
定价:
无文本
/ 折扣价:
0 元