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DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法 废止 发布日期 :  2013-08-01 实施日期 :  2013-10-01

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定测定范围: SiH2Cl2 >0.01%,SiCl4>0.01%,HCl>0.01%

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