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本文件描述了测量经化学机械抛光或外延生长的硅片上表面元素污染的原子表面密度的TXRF方法。 本文件适用于以下情形: ——原子序数从16(S)到92(U)的元素; ——原子表面密度介于1×1010 atoms/cm2~1×1014 atoms/cm2之间的污染元素; ——采用VPD(气相分解)样品制备方法得到的原子表面密度介于5×108 atoms/cm2~5×1012 atoms/cm2之间的污染元素(见3.4)。
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本标准规定了橡胶或塑料涂覆织物致液体污染性的测试方法。 本标准适用于包装、储存或运输液体货物用的涂覆织物。
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本标准规定了一种准确测量印刷线路板PCB(printed circuit board)镀金手指表面污染物的方法--俄歇电子能谱法(AES)。本标准适用于具有一定导电性固体表面纳米尺度元素分布的准确测量。
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本标准规定了通过测量接触角来检测玻璃表面疏水污染物的意义、应用、影响因素、试验装置、试剂和材料、试验步骤、结果解释等。本标准适用于通过测量接触角来检测玻璃表面的疏水污染物。
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