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GB/T 14850-1993 气体分析词汇 被代替 发布日期 :  1993-12-30 实施日期 :  1994-10-01

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GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢 被代替 发布日期 :  1997-08-13 实施日期 :  1998-05-01

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GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 被代替 发布日期 :  1997-08-13 实施日期 :  1998-05-01

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GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 被代替 发布日期 :  1997-08-13 实施日期 :  1998-05-01

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GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 被代替 发布日期 :  1999-09-16 实施日期 :  2000-06-01

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GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼 被代替 发布日期 :  2011-01-14 实施日期 :  2011-05-01

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式:BCl3。
相对分子质量:117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。

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GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 被代替 发布日期 :  2009-10-30 实施日期 :  2010-05-01

本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
分子式:SiH4。
相对分子质量:32.117(按2005年国际相对原子质量)。

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GB/T 8981-2008 气体中微量氢的测定 气相色谱法 废止 发布日期 :  2008-05-15 实施日期 :  2008-11-01

本标准规定了气体中的微量氢的气相色谱测定方法。
本标准适用于氮、氩、氧、空气、氪、氙及灯泡用氩等气体中微量氢的测定,也适用于医学和电力等领域。测定范围为0.02~100×10-6(体积分数)。
当待测样品中含有200×10-6(体积分数)以上的氖或1000×10-6(体积分数))以上的氦时,将对氢的测定产生干扰。此时需将氢与氦、氖分离之后本标准方能适用。

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GB/T 14852-1993 气体中微量氧的测定 黄磷发光法 废止 发布日期 :  1993-12-30 实施日期 :  1994-10-01

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