本标准规定了丙烯的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全的内容。本标准适用于以工业丙烯为原料，采用吸附、精馏方法提纯制备的电子工业用丙烯。它主要用于半导体技术领域。分子式：C3H6。相对分子质量：42.081（按2011年国际相对原子质量）。

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本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。分子式：CHF3。相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量)。

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本标准规定了二氧化碳制甲醇生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输。本标准适用于新建、扩建和改建的二氧化碳制甲醇生产装置。

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本标准规定了二氧化碳制甲醇的通用要求、生产安全、甲醇产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的二氧化碳制甲醇工程项目。

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本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。

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本标准规定了用水吸收法处理LED行业用氨气尾气的技术要求。
本标准适用于LED行业用氨气尾气的处理。

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本标准规定了瓶装均质的校准用混合气体的证书的最基本要求。本标准也适用于校准用的纯气体，但不适用于非校准用途的纯气和混合气体。本标准规定的是校准用混合气体的计量方面的要求，不涉及安全及法律方面的要求。本标准还规定了带压气瓶或其他容器包装的均质混合气体的推荐性的附加信息(可选条款)。本标准不包含有关安全方面的数据及相关标志。

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本文件规定了制备具有稳定性和可比性的校准用混合气体1)的通用质量保证要求2)，确立了验证此类混合气体的组成在规定的测量不确定度范围内是否准确的程序，提供了如何在这些程序中进行不确定度评定的指导，描述了使用可溯源的标准混合气体来校准组成未知的校准用混合气体的方法，给出了校准用混合气体生产商使用的质量管理体系，还给出了这些差异3)对混合气体特性造成的影响的信息。

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本部分规定了纯氢、高纯氢和超纯氢的技术要求、试验方法、包装标志、贮运及安全要求。
本部分适用于经吸附法、扩散法等制取的瓶装、集装格装和管道输送的氢气。它主要用于电子工业、石油化工、金属冶炼和科学研究等领域。
分子式：H2。
相对分子质量：2.015 88（按2007年国际相对原子质量）。

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本标准规定了三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三乙基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C6H15Ga
相对分子质量：156.91(按2013年国际相对原子质量计算)

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本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

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本标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9In
相对分子质量：159.92(按2013年国际相对原子质量计算)

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本标准规定了用配备等离子发射检测器的气相色谱仪测定气体中微量组分的方法。本标准适用于高纯气、工业气、标准气等气体中氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氖、氩、氙、氪以及甲烷、苯等碳氢化合物组分的测定。测定范围为0.05×10-6~10×10-6（体积分数）。

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本标准规定了测定室内空气中挥发性有害有机物的SUMMA罐采样气相色谱/质谱法。本标准适用于住宅、办公建筑物、环境实验舱等空气中19种挥发性有机物（参见附录A）测定，及其他室内常见挥发性有机物（参见附录B）测定。其他室内环境空气中挥发性有机物的测定可参照本标准执行。

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本标准规定了采用紫外差分吸收光谱法测定气体中二氧化硫和氮氧化物的方法。本标准适用于标准气体、工业气体、环境空气等气体中二氧化硫和氮氧化物的测定。二氧化硫测定范围为0.2 mg/m3～5 000 mg/m3，一氧化氮测定范围为0.3 mg/m3～5 000 mg/m3，二氧化氮测定范围为2 mg/m3～5 000 mg/m3。

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