【国家标准】电子工业用气体　高纯氯

本网站发布时间： 2015-07-01

GB/T 18994-2014
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式：Cl2。
相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。

基本信息

标准号：
GB/T 18994-2014
标准名称：
电子工业用气体　高纯氯
英文名称：
Gases for electronic industry—High purity chlorine
标准状态：
现行
发布日期：
2014-12-22
实施日期：
2015-07-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
15 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任
起草单位：
西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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