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T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范 现行 发布日期 :  2024-08-02 实施日期 :  2024-08-02

本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。

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T/GVS 013-2024 红外测温滤光片 现行 发布日期 :  2024-04-22 实施日期 :  2024-04-22

本文件规定了红外测温滤光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于红外测温滤光片的生产、检验和销售。

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